Angaben aus der Verlagsmeldung

Erzeugung und Anwendungspotential von mit dem PLD-Verfahren hergestellten superharten amorphen Kohlenstoffschichten / von Katja Günther


Ziel der Arbeit ist die Überführung von Wissen zur Herstellung von superharten, amorphen, tetraedrisch gebundenen Kohlenstoffschichten mit dem gepulsten Laserabscheideverfahren (PLD) in Kombination mit dem Laserpulsspannungsrelaxation-Verfahren (LSR) in die Industrie. Es werden die Einflüsse der Substrat- und Targetbeschaffenheit, der Substrat- und Targetvorbehandlung sowie des Energiedichteprofils des Abscheidungslasers auf die ta-C-Schichteigenschaften untersucht. Weiterhin werden mögliche Beschichtungsfehler und deren Ursachen aufgezeigt und Vorschläge zu deren Vermeidung gegeben. Es werden die ta-C-Schichteigenschaften in Abhängigkeit der Prozessparameter bestimmt und daraus das Potential der Schichten hinsichtlich der industriellen Anwendbarkeit aufgezeigt. Diese Arbeit soll dem industriellen Anwender als Leitfaden zur Herstellung einer industrietauglichen PLD-/LSR-Beschichtungsanlage zur Herstellung von haftfesten, spannungsfreien, superharten ta -C-Schichten dienen.